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光學(xué)掃描式成像測(cè)量機(jī)輪廓儀，以光學(xué)成像測(cè)量系統(tǒng)為基礎(chǔ)，配合高精度運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和花崗巖龍門(mén)式底座，實(shí)現(xiàn)了測(cè)量精度、速度、穩(wěn)定的**結(jié)合；結(jié)合高精度圖像分析算法，并融入閃測(cè)原理，在測(cè)量范圍內(nèi)，任意擺放工件位置、方向、角度，儀器都可自動(dòng)定位測(cè)量對(duì)象、匹配模板、測(cè)量評(píng)價(jià)、報(bào)表生成，真正實(shí)現(xiàn)快速精準(zhǔn)測(cè)量。

?SJ5730-100小型輪廓測(cè)量?jī)x采用超高精度衍射光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)、超高直線度研磨級(jí)摩擦導(dǎo)軌、高性能伺服驅(qū)動(dòng)電機(jī)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，能實(shí)現(xiàn)對(duì)工件表面粗糙度和輪廓進(jìn)行高精度測(cè)量和分析。

?SuperViewW系列3d輪廓一鍵測(cè)量?jī)x也叫白光干涉儀是目前三維形貌測(cè)量領(lǐng)域高精度的檢測(cè)儀器之一。在同等放大倍率下，測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級(jí)別的超高精度加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它儀器達(dá)不到檢測(cè)的精度要求。

SJ5718-PR一鍵式輪廓度測(cè)量?jī)x器除了具有高科技含量外，還將測(cè)試表面粗糙度和表面輪廓兩種功能有機(jī)地設(shè)計(jì)在同一臺(tái)儀器上，其輪廓及粗糙度測(cè)量功能可互換，更適合于深孔測(cè)量的粗糙度模塊，是一款集成表面粗糙度和輪廓測(cè)量的測(cè)量?jī)x器。

?中圖儀器輪廓測(cè)量?jī)xSuperViewW1是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。

SuperViewW1非接觸3d光學(xué)輪廓儀器的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測(cè)、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高等微納米級(jí)別精度的測(cè)量。在同等放大倍率下，測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。