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PLR3000非接觸高精度測量光纖激光尺用于對精度要求苛刻、環境復雜的場景。比傳統光柵精度高10倍,分辨率達原子層級(10nm=100個原子直徑!) PLR3000 系列光纖激光尺已在多個客戶端進行精度驗證:用差分干涉(DI)探頭對高精度納米位移臺進行閉環控制,在10mm行程內任意位置實現納米級位置控制精度。
PLR3000納米級精度激光尺測量儀是新一代高精度位置檢測設備,基于激光干涉測量原理,專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。
中圖儀器PLR3000高精準度激光尺品牌0.02ppm穩頻精度光纖激光尺突破性技術融合高穩定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測量,分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。
0.2ppm線性測量精度光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設備,基于激光干涉測量原理,專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。
PLR3000納米級高精度光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率,同時其熱源隔離設計,保證了更高的穩定性,具有安裝快捷,易于準直等特點。同時提供多種干涉探頭配置 ,用戶可根據實際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無內置干涉鏡組的測量探頭,滿足用戶各種復雜場景應用。
PLR3000超高精度位置檢測光纖激光尺0.02ppm穩頻精度光纖激光尺突破性技術融合高穩定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測量,分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。
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