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CEM3000二次電子探測器掃描電鏡采用的鎢燈絲電子槍，發射電流大、穩定性好，以及對真空度要求不高。臺式電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統，這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現所得結果。

中圖儀器臺階測量儀線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

CEM3000材料分析掃描電子顯微電鏡具有更高的易用性，要堅固耐用得多。臺式電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統，這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現所得結果。此外

CEM3000四象限高分辨探頭掃描電鏡憑借其簡便的操作系統，讓復雜的掃描電鏡使用過程變得簡單快捷。在工業領域展現出廣泛的應用價值，標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實現微觀的形貌和元素分析等。

SuperViewW白光干涉光學3D測量儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

中圖儀器國產臺階高度測量儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作，結合亞埃級分辨率（5 Å）與智能化分析軟件，可精準測量臺階高度（納米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等參數）、膜層厚度及應力分布，為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持。