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CEM3000高抗振性臺式掃描電鏡是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設(shè)備。不同于立式電鏡,CEM3000系列臺式掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結(jié)果。
SuperViewW白光干涉3D表面形貌測量儀基于白光干涉原理,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。
VT6000共聚焦3D成像檢測顯微鏡基于光學共軛共焦原理,結(jié)合精密縱向掃描,以在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像,從而進行分析的精密光學儀器,一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測,可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。
SuperViewW納米級白光3d表面輪廓檢測儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
NS系列材料臺階高度測量儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。
中圖臺式掃描電鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析,標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng),能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求,實現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。
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