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中圖儀器CEM3000高性能復合抗振系統掃描電鏡采用的鎢燈絲電子槍，發射電流大、穩定性好，以及對真空度要求不高。標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實現微觀的形貌和元素分析等。

NS系列臺階高微觀形貌參數測量儀線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13μm量程下可達0.01埃。能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度，可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

CEM3000系列桌面式掃描電鏡品牌采用的鎢燈絲電子槍，發射電流大、穩定性好，以及對真空度要求不高。臺式電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統，這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現所得結果。

中圖儀器一鍵快速成像掃描電子顯微鏡采用的鎢燈絲電子槍，發射電流大、穩定性好，以及對真空度要求不高。臺式電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統，這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現所得結果。

中圖儀器國產掃描電子顯微鏡SEM可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內大顯身手。即便在一些常規電鏡難以耐受的工作環境中，該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術，展現出色的性能。

NS系列表面輪廓薄膜厚度臺階測量儀線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。